【摘 要】
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通过改变气体流率、放电气压和气体组成,研究射频感应耦合放电等离子体（inductively coupled plasma,ICP）在圆柱型放电装置中E模到H模的转化规律.采用发射光谱诊断法,对419.8 n
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51571003);ITER专项(2013GB109003)
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通过改变气体流率、放电气压和气体组成,研究射频感应耦合放电等离子体（inductively coupled plasma,ICP）在圆柱型放电装置中E模到H模的转化规律.采用发射光谱诊断法,对419.8 nm氩原子谱线和434.8 nm氩离子谱线进行采集和分析,以表征E模到H模的转换功率.当放电气压为60 Pa时,E-H转换功率最小;在Ar中加入He对E-H转换功率几乎没有影响,而加入N2后,E-H转换功率发生了明显的改变;随着氩气流率的增加,E-H转换功率在不断减小.结果表明：射频感应耦合放电等离子体E
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