【摘 要】
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针对压电陶瓷微位移执行器动态响应速度慢的问题进行了研究，提出用数字ＰＩＤ方法加以解决，并研制出一套实用控制系统。其中，研制出一种可微机控制的精密高压调节器，与单片机数字系统相
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针对压电陶瓷微位移执行器动态响应速度慢的问题进行了研究，提出用数字ＰＩＤ方法加以解决，并研制出一套实用控制系统。其中，研制出一种可微机控制的精密高压调节器，与单片机数字系统相配合，形成一个完整的、数字－模拟电路结合的控制系统，用以实现压电陶瓷微位移器动态性能的改善。实验表明，该控制系统简单、可靠、实用，所提出的ＰＩＤ方法对压电陶瓷微位移执行器的动态特性有明显的改善。
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