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探讨了一种精密的Ｘ－Ｙ扫描工作台，论证其主要技术指标，介绍其结构特点同时也进行理论分析，最后讨论了其应用。
一种精密X—Y扫描台的研究
【摘 要】
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探讨了一种精密的Ｘ－Ｙ扫描工作台，论证其主要技术指标，介绍其结构特点同时也进行理论分析，最后讨论了其应用。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1997年2期
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