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多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用
多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用
来源 :电工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meixueer2972
【摘 要】
:
基于改良西门子法多晶硅生产方式,设计了一套集启动装置和还原装置一体化的多晶硅还原炉电气系统,并实现远程集中控制,采用了基于电流和温度反馈两种控制变量设计控制算法,实
【作 者】
:
贺明智
冯玉东
赵荣华
孙利娟
【机 构】
:
北京交通大学电气工程学院,北京京仪椿树整流器有限责任公司
【出 处】
:
电工技术
【发表日期】
:
2010年9期
【关键词】
:
多晶硅
改良西门子法
高压启动
闭环控制
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基于改良西门子法多晶硅生产方式,设计了一套集启动装置和还原装置一体化的多晶硅还原炉电气系统,并实现远程集中控制,采用了基于电流和温度反馈两种控制变量设计控制算法,实现了在不同温度条件下电气控制系统实时自适应调节。
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