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微电子器件内连接技术与材料的发展展望
微电子器件内连接技术与材料的发展展望
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangdeting
【摘 要】
:
内引线连接是微电子器件制造过程中的重要环节之一.综述了微电子器件内引线连接技术的特点和方法,重点介绍了引线键合和倒装焊材料的研究进展,并指出了未来的发展方向.
【作 者】
:
陈方
杜长华
黄福祥
杜云飞
【机 构】
:
重庆工学院材料学院,重庆大学外语学院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
微电子器件
内引线连接
引线键合材料
倒装焊材料
【基金项目】
:
重庆市自然科学基金资助(2004CC21)
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内引线连接是微电子器件制造过程中的重要环节之一.综述了微电子器件内引线连接技术的特点和方法,重点介绍了引线键合和倒装焊材料的研究进展,并指出了未来的发展方向.
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