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光学薄膜产品在军事、空间科学和工农业生产中发挥着重要作用。面对日益复杂的需求,膜系设计动辄数十、上百层,纯手动或半自动化的镀膜机已经不能满足现有需求。随着计算机和自动化技术的发展,全自动精密光学镀膜机的出现成为现实。主要介绍全自动真空蒸发镀膜机自动化系统的构成、相关硬件模块和软件内容。
光学薄膜自动化控制系统简述
【摘 要】
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光学薄膜产品在军事、空间科学和工农业生产中发挥着重要作用。面对日益复杂的需求,膜系设计动辄数十、上百层,纯手动或半自动化的镀膜机已经不能满足现有需求。随着计算机和
【机 构】
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北京京仪博电光学技术有限责任公司
【出 处】
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仪器仪表与分析监测
【发表日期】
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2014年4期
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