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报道了热喷涂纳米制备单晶硅太阳能电池研究成果,探讨了衬底温度对TiOx减反射膜结构和折射率的影响,优化工艺条件的热喷涂纳米和研究TiOx对单一太阳能电池效率的贡献.实验结果表明,采用热喷涂技术制备的纳米TiOx抗反射膜能提高100mm x 100mm单太阳能电池平均光电转换效率8%~9%.