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微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度.概要介绍了台阶测量技术的发展情况,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点,并得出了结论.