【摘 要】
：
研究离轴照明的系统中,光学表面环带中频面形误差对于照明光场均匀性和半影宽度的影响.推导了二极照明下中频面形误差的峰谷(PV)值和系统的相干因子对线扩展函数(LSF)分布的
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学,北京100049
论文部分内容阅读
研究离轴照明的系统中,光学表面环带中频面形误差对于照明光场均匀性和半影宽度的影响.推导了二极照明下中频面形误差的峰谷(PV)值和系统的相干因子对线扩展函数(LSF)分布的解析关系,并通过数值计算分析了二极照明下,中频面形误差对照明镜组线扩展函数的影响.阐述了中频面形误差降低照明光场的均匀性和增大半影宽度的理论机制.利用实际制造的面形数据结合商用光学设计软件对光刻机照明系统中照明镜组进行仿真.结果表明,这种仿真方法可以快速评估中频面形误差对照明光场和半影宽度的影响,在设计阶段使用实际制造的面形对系统进行仿真,为光学设计和光学加工公差分配提供了理论依据.
其他文献
简要介绍了数字交叉连接（ＤＸＣ）的概念和种类，并着重介绍了ＤＸＣ４／１型交叉机的结构、功能与特点、控制系统和网管功能。
The concept and type of digital cross-connect (DXC) are briefly
导航卫星信号的非理想特性会引起伪距测量产生偏差,具体表现为相同类型接收机具有相同伪距偏差,不同类型接收机的伪距偏差不一致.当提供导航定位服务产品的接收机技术状态与用户端不一致时,伪距偏差将引起导航定位服务性能降低.本文利用超短基线双差伪距O-C (Observation Minus Computation)方法计算了BDS(Beidou Satellite Navigation System)的伪
由于地震前后连绵降雨,岷县漳县6.6级地震低烈度区(≤6度)的民房破坏特征及受损程度,显著区别于以往强震下的破坏、受损情况。基于本次地震现场考察及相关灾害复查的第一手资
信息系统的广泛应用,使得电子服务存在于商务、政务、教育、科研以及医疗等领域.对电子服务程序公平性用户感知因素进行研究,将为改进信息系统功能,提升用户感受提供理论依据
我在北京南城上班,公司附近有一家连锁超市,平时中午休息的时候,很喜欢去逛逛。可是,上周我去超市买了一斤多的特价山楂卷,竟然吃出一个发霉变质的,而且发现好几个山楂卷的包
蚂蚁属节肢动物门膜翅膜目蚁科的社团性昆虫,它的祖先至今约二亿年,随着环境的变迁,身躯细小的蚂蚁依靠集体的力量生存、繁衍,至今已成为一门鼎盛的蚂蚁王国,地球上凡是有土
和其他的学校一样,中等职业学校的学生学习水平存在很大的差异,尤其是英语学科,水平分级现象十分明显。对学生进行学习层次划分,分别进行教学能够缩短学生间的水平差距,提高
近年来的医学揭示,体内毒素积存是一个不容忽视的病因。因此,专家们认为若能像打扫环境那样经常对体内『大扫除』,及时消除毒素,人们自然会安康少病。如何对体内进行『大扫
针对新型飞行器对装配精度需求的不断提高,常用的数字化测量辅助装配系统已无法满足的问题,基于iGPS激光测量系统提出一种新型多装置混合对接测量方法,并基于该测量方法建立
重点对计算机电话报警系统中8031单片机、调制解调器、系统扫描监视程序等重要技术问题进行了研究。
Focus on the computer telephony alarm system 8031 microcontrol