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本文通过磁控溅射法沉积IT0薄膜，并通过控制溅射功率，舍氧量，压强的方法制备ITo薄膜。根据薄膜透过率栽流子迁移率，薄膜电阻率，载流子浓度所需的霍尔效率等来综合判断制备的薄膜的优劣，从而得出磁控溅射法制备ITO薄膜的适宜参数值。
磁控溅射法沉积ITO薄膜的工艺参数研究
【摘 要】
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本文通过磁控溅射法沉积IT0薄膜，并通过控制溅射功率，舍氧量，压强的方法制备ITo薄膜。根据薄膜透过率栽流子迁移率，薄膜电阻率，载流子浓度所需的霍尔效率等来综合判断制备的薄膜的
【机 构】
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中国地质大学能源学院
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2013年15期
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