利用光镊系统实现纳米加工的理论和实验研究

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阐述光镊形成的基本原理,利用几何光学和动量守恒定律对激光势阱中约10μm大小的高强度微粒子(如:金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析.同时建立了实验装置,通过操纵微粒子的运动,实现对硅表面的纳米加工,并通过实验比较,定性分析最佳加工条件(如:激光功率和加工基底参数).
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