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利用光镊系统实现纳米加工的理论和实验研究
利用光镊系统实现纳米加工的理论和实验研究
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pw1
【摘 要】
:
阐述光镊形成的基本原理,利用几何光学和动量守恒定律对激光势阱中约10μm大小的高强度微粒子(如:金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析.同时建立了实验装置,通过操纵微粒子
【作 者】
:
王晓娜
白剑
侯西云
杨国光
【机 构】
:
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
光镊
微粒子
纳米加工
optical-tweezermicro-particlesnano-machining
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阐述光镊形成的基本原理,利用几何光学和动量守恒定律对激光势阱中约10μm大小的高强度微粒子(如:金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析.同时建立了实验装置,通过操纵微粒子的运动,实现对硅表面的纳米加工,并通过实验比较,定性分析最佳加工条件(如:激光功率和加工基底参数).
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