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利用TCAD软件，构建了特征尺寸为0.18μm的三维器件模型，采用器件与电路联合仿真的方法，对重离子在静态随机存储器（SRAM）中引起的单粒子翻转（SEU）效应进行了模拟，分析了SRAM单位子翻转的机理。仿真了各种阻值的反馈电阻对SRAM抗SEU的效果，确定了SRAM单元抗SEU反馈电阻的阻值。仿真结果表明，搭建的仿真平台可为加固型SRAM电路的研制提供仿真平台和设计依据。