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一台新型线性测量干涉仪的光学元件排列与其它一般干涉仪不同。这种新型装置没有Abbe误差，并且精度比以前的装置提高总计十倍。Abbe误差是通过使试验束跨在由探针所占据的测量轴上消除的。再者，干涉仪的静空气路程与待测距离成正比。
干涉仪测量线性位移
【摘 要】
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一台新型线性测量干涉仪的光学元件排列与其它一般干涉仪不同。这种新型装置没有Abbe误差，并且精度比以前的装置提高总计十倍。Abbe误差是通过使试验束跨在由探针所占据的测量
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1988年4期
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