【摘 要】
：
浸没式光刻设备能极大地提高光刻的分辨率,促进集成电路的进一步小型化.然而浸没式光刻设备的精度常常受到气泡、水印和颗粒这三种因素的影响,因此,消除气泡的技术是浸没式光
【机 构】
：
国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心光电部光学室
论文部分内容阅读
浸没式光刻设备能极大地提高光刻的分辨率,促进集成电路的进一步小型化.然而浸没式光刻设备的精度常常受到气泡、水印和颗粒这三种因素的影响,因此,消除气泡的技术是浸没式光刻领域的一大研究热点,从供液系统、物理法、化学法等四个方面对消除气泡的专利技术进行了梳理.最后对本领域重点申请人ASML、尼康株式会社公司的专利进行了分析.
其他文献
在这个经济竞争激烈的21世纪当中,社会在进步、发展的同时,对于人才的要求也有着不同的标准。由于经济的迅速增长,我国的出口贸易额正在与日俱增。由于国际贸易的不断深入和
医疗美容高等职业教育改革的根本目标就是提高教学质量,创新型教材建设能促进提高医疗美容专业教学质量。高等职业教育医疗美容系列教材的建设必须进行创新,以培养学生能力和
随着高职教育改革进一步深化,教学改革逐步的推进,课程改革迫在眉睫,实施理实一体化教学是目前课程改革主要方法。为提高学生的职业能力与素养,焊接专业将钣金下料课程采用理
在当今这个知识与经济飞速发展的社会，我国提出了建设创新型国家和人才强国战略，所以怎样提高创新能力成为把我国建设成富强民主国家的工作重点。提高创新能力的工作必须从学生
大学英语教学中,课堂提问是一个重要环节,是师生间沟通交流的主要途径。本文从课堂中教师的提问前准备、提问过程的处理、提问后的反馈三个方面浅析课堂提问的相关技巧。
In
大学英语的语音教学,简单的传统方式是通过对于语音的发音方法进行语音教学。而随着对于英语语音教学的认识,人们更加重视在英语语音的情感因素。而对于英语语音的训练,可以
高校辅导员是针对学生学习生活以及思想政治等方面而设置的职业，其对大学生的成长和发展有极大的辅助作用。但在实践中，高校辅导员通常存在不稳定的现状，缺少高专业能力的人才，导
本文简单介绍了公共事业管理类专业的相关信息和人才特征,通过对现阶段公共事业管理类专业教育中存在的问题进行分析,来探讨公共事业管理类专业教育的发展趋势,以提高公共事
手势可以说是无声的语言，人们借助手势传递各种信息，表达各种感情，不同的手势对人心理会产生不同的影响。本文采用访谈和观察的研究方法，对吉林农业大学某系大二学生进行分析研究
英语语音对于英语的表达有着重要的影响。英语语音不但包括具体的音素发音,更为重要的是,实际英语交际运用时,英语口语的停顿、重音、语调等音素。这些因素不仅表现口语的情