硬质薄膜技术的最新发展

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【摘要】

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为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用.本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商.首先对CVD及其相关技术的发展情况

【出处】

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真空

【发表日期】

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2009年6期

【关键词】

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硬质薄膜化学气相沉积物理气相沉积阴极电弧磁控溅射

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为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用.本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商.首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最后对国内相关产业的发展进行了介绍和总结,同时本文对硬质薄膜技术在我国未来的发展提出了展望.

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