【摘 要】
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采用侧面紫外火花隙自动预电离代替小极上小孔预电离，使放电泵浦氟化氪激光器的主放电均匀性大为改善。输出激光能量由１４０ｍＪ提高到２５０ｍＪ，增益区光能密度为２．３Ｊ／１，同时电极寿命和气体寿命也大为提
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采用侧面紫外火花隙自动预电离代替小极上小孔预电离，使放电泵浦氟化氪激光器的主放电均匀性大为改善。输出激光能量由１４０ｍＪ提高到２５０ｍＪ，增益区光能密度为２．３Ｊ／１，同时电极寿命和气体寿命也大为提高。
Using the side of the ultraviolet spark gap automatic pre-ionization instead of a small hole on the pre-ionization, the discharge pump krypton fluoride main discharge uniformity greatly improved. The output laser energy is increased from 140mJ to 250mJ, and the light energy density in the gain region is 2.3J / 1. Meanwhile, the electrode life and gas life are greatly improved.
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