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微芯片爆炸箔起爆器及其平面高压开关研究进展

来源 :含能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oyfj2009

【摘 要】

：

爆炸箔起爆系统(Exploding Foil Initiator system,EFIs)的每一次技术升级都伴随着设计理念和制造工艺的革新,尤其是微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和低

【作 者】

：

杨智  朱朋  徐聪  张秋  覃新  沈瑞琪 

【机 构】

：

南京理工大学化工学院

【出 处】

：

含能材料

【发表日期】

：

2019年2期

【关键词】

：

微芯片爆炸箔起爆系统(McEFIs) 电容放电单元 微芯片爆炸箔起爆器(McEFI) 平面高压开关 研究进展 

【基金项目】

：

江苏省自然科学基金资助(BK20151486)

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爆炸箔起爆系统(Exploding Foil Initiator system,EFIs)的每一次技术升级都伴随着设计理念和制造工艺的革新,尤其是微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)工艺,极大地促进了微芯片爆炸箔起爆系统(Micro Chip Exploding Foil Initiator system,McEFIs)的发展。简要分析了两种工艺制备微芯片爆炸箔起

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