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深紫外激光由于波长短、能进行更高精度加工的优点,在半导体光刻、激光光电子能谱仪和激光切割上具有重要的应用。目前,KBe2BO3F2（KBBF）是唯一能实际输出深紫外激光的非线性光学（NLO）晶体,但是,KBBF含剧毒铍元素且其晶体层状生长特严重,因此,急需探索新型深紫外NLO晶体材料。
新型无铍深紫外非线性光学晶体材料
【摘 要】
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深紫外激光由于波长短、能进行更高精度加工的优点,在半导体光刻、激光光电子能谱仪和激光切割上具有重要的应用。目前,KBe2BO3F2（KBBF）是唯一能实际输出深紫外激光的非线性光
【出 处】
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中国光学
【发表日期】
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2015年5期
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