用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜光谱响应改性的研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lb_124

【摘要】

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采用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜表面进行氮注入处理来改善纳米TiO2催化剂的光谱响应范围.处理后表面颜色变成微黄色,说明氮离子已注入到TiO2薄膜里;AFM观察处理前后的薄膜,发

【作者】

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孔令红熊予莹符斯列陈俊芳吴先球唐吉玉

【机构】

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华南师范大学物理与电信工程学院

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

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ECR氮等离子光谱响应 TIO2薄膜紫外-可见光谱分析 AFM ECR plasma absorbtion spectrum TiO2 thin film

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采用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜表面进行氮注入处理来改善纳米TiO2催化剂的光谱响应范围.处理后表面颜色变成微黄色,说明氮离子已注入到TiO2薄膜里;AFM观察处理前后的薄膜,发现表面形貌没有很大改变;紫外-可见光谱分析结果表明,TiO2薄膜催化剂的光谱响应红移了12-18nm;通过不同功率、不同处理时间研究显示,在微波功率为400W、处理60min改性效果最理想.

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