【摘 要】
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<正>目前,我国中晟光电设备(上海)有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司等企业已经成功攻克生产LED外延芯片的关键设备-MOCVD,并在2013年进入大生产线,实现了MOCVD销售6腔
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<正>目前,我国中晟光电设备(上海)有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司等企业已经成功攻克生产LED外延芯片的关键设备-MOCVD,并在2013年进入大生产线,实现了MOCVD销售6腔的业绩,向国产MOCVD产业化迈出了一大步,这不仅摆脱了长期依赖国外进口的被动局面,也降低了LED芯片制造的成本。在LED上下游生产线设备中,还有蓝宝石晶体生长炉、多线切割机、研磨机、抛光机、清洗甩
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