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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RFMEMS振荡器。
研究人员制备成功RFMEMS振荡器
【摘 要】
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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RFMEMS振荡器。
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2014年1期
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