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可见-紫外激光所产生的干涉条纹范围宽达数百nm,要准确测量超微小位移量是困难的。而均一的单晶硅片尺寸稳定,可以将硅的晶格常数作为长度基准。
超短波干涉仪
【摘 要】
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可见-紫外激光所产生的干涉条纹范围宽达数百nm,要准确测量超微小位移量是困难的。而均一的单晶硅片尺寸稳定,可以将硅的晶格常数作为长度基准。
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1993年6期
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