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介绍了近三五年内国际上微机械研究的新进展，阐述了新的微加工技术，趋向于探讨高纵横比的真三维立体结构；适用于聚合物和金属材料的制造方法；报道了压电型和电磁型微小电机的研制水平以及一些初见成效的微机械作品。
微机械研究新进展
【摘 要】
：
介绍了近三五年内国际上微机械研究的新进展，阐述了新的微加工技术，趋向于探讨高纵横比的真三维立体结构；适用于聚合物和金属材料的制造方法；报道了压电型和电磁型微小电机的研制
【机 构】
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上海大学精密机械工程系
【出 处】
：
光学精密工程
【发表日期】
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1997年2期
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