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制备出了SiC／SiC—Al2O3-Y2O3炭／炭复合材料防氧化复合涂层，该复合涂层的内层SiC基涂层采用料浆固渗法制备，SiC—Al2O3-Y2O3外层涂层采用大功率电子束物理气相沉积法。研究表明，电子束物理气相沉积法能达到较好的沉积效果，在制备过程中形成了柱状晶结构的涂层，使得涂层具有更高的应变容限，涂层非常均匀致密。用SEM、XPS和EDS等分析方法分析了涂层的防氧化机理。结果表明：在制备过程和氧化过程中，涂层内会发生复杂的物理和化学变化，生成硅酸盐氧化物，显示出电子束物理气相沉积法在制备炭／炭复合