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有关化学电源应用和发展的若干问题
【出 处】
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化学通报
【发表日期】
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1974年06期
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本文利用电子束蒸发的方法，以掺杂Mo的In2O3 陶瓷靶为靶材，在普通玻璃衬底上制备了可用于硅薄膜太阳电池的前电极的IMO(In2O3:Mo)透明导电薄膜。研究了衬底温度、氧流量、掺杂浓度、薄膜厚度、生长速率等沉积条件对IMO 薄膜电学、光学、结构特性的影响。利用四探针法测量薄膜的面电阻，载流子浓度和迁移率用霍尔测试系统进行测量，确定在怎样的工艺条件下会得到电学特性较好的薄膜。借助UV-Vis-N
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