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研究了一种光调制交流光栅位置检测系统,它是一种交流系统,抗干扰能力强,细分电路简单,并可获得高的细分数,大大提高了光栅测试系统分辨率.
交流光栅位置检测系统
【摘 要】
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研究了一种光调制交流光栅位置检测系统,它是一种交流系统,抗干扰能力强,细分电路简单,并可获得高的细分数,大大提高了光栅测试系统分辨率.
【机 构】
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西安理工大学机械与精密仪器工程学院
【出 处】
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西安理工大学学报
【发表日期】
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2001年3期
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