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期刊论文
FeCl3溶液中影响Cu蚀刻速度的因素
FeCl3溶液中影响Cu蚀刻速度的因素
来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinwang01
【摘 要】
:
采用喷蚀的方法,研究了Cu在2.5mol/LFeCl3溶液中影响蚀刻速度的几个因素。用XRD方法分析了Cu蚀刻表面的成分,证实了蚀刻过程中CuCl印化膜的形成;研究了蚀刻速度随蚀刻时间的变化规律,经出了初步的解释。
【作 者】
:
蔡坚
【机 构】
:
清华大学材料科学与工程系
【出 处】
:
中国有色金属学报
【发表日期】
:
1998年A01期
【关键词】
:
蚀刻速度
钝化膜
喷蚀
铜
三氯化铁
引线框架
etching ratepassivation filmregeneration
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用喷蚀的方法,研究了Cu在2.5mol/LFeCl3溶液中影响蚀刻速度的几个因素。用XRD方法分析了Cu蚀刻表面的成分,证实了蚀刻过程中CuCl印化膜的形成;研究了蚀刻速度随蚀刻时间的变化规律,经出了初步的解释。
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