MEVVA源引出离子束流分布均匀性的初步研究

来源 :北京师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hwj67712233
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通过采用加会切磁场、增大离子源阴极与阳极距离并限制源等离子体发射角,从而使源阳极电位高于等离子体电位和采用改变源阳极结构──仅用阳极筒──从而改变弧放电路径这3种方法,对改善MEVVA源引出离子束流密度分布的均匀性进行了初步的研究。第3种方法从根本上改变了MEVVA源引出束分布的高斯分布特性,在合适的条件下可能得到更为均匀的束流密度分布。
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