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采用模块化的设计思想，制成了高质量且简单易用的音又光纤探针模块、模块化的扫描探头、扫描台等，从而研制出高性能，易操作的模块化的保偏近场扫描光学显微镜。
模块化的保偏近场扫描光学显微镜结构设计
【摘 要】
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采用模块化的设计思想，制成了高质量且简单易用的音又光纤探针模块、模块化的扫描探头、扫描台等，从而研制出高性能，易操作的模块化的保偏近场扫描光学显微镜。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,中科院半导体研究所纳米光电子实验室,中国科学技术大学高分子科学与工程系
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2007年3期
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