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以β-二酮螯合物 Zr（DPM）4为挥发性源,利用微波等离子体化学气相淀积方法成功地在低温（<300℃）下合成了 ZrO2薄膜,SEM 观测表明薄膜形貌呈细粒结构,其晶粒尺寸为纳米量级.XRD指出,淀积物中除单斜相 ZrO2外,还存在亚稳态的四方相.XPS 测量了 Zr3d 的电子结合能,发现较之标准 ZrO2样品低约0.5eV,XPS 定量分析显示薄膜中含有一定量的 C 及过量的 O（?）对其原因以及在不同的淀积条件、薄膜的形成机制等进行了讨论.