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本文报告了用Ｘ光电子能谱法（ＸＰＳ）对氮氧化铝／铁膜内层电子特征能量的探测与分析，获得了膜层中不同深度的元素成分及化学结构，结果表明：ＸＰＳ方法是研究氮氧化铝选择性吸收膜的有效方法 。
X光激发氮氧化铝膜层电子特征能量探测与分析
【摘 要】
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本文报告了用Ｘ光电子能谱法（ＸＰＳ）对氮氧化铝／铁膜内层电子特征能量的探测与分析，获得了膜层中不同深度的元素成分及化学结构，结果表明：ＸＰＳ方法是研究氮氧化铝选择性吸收膜的有效方法 。
【机 构】
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北京轻工业学院基础部,北京理化分析测试中心
【出 处】
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工科物理
【发表日期】
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1999年4期
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