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本文以非晶氮化硅纳米陶瓷粉体为初始材料,以纳米氧化钇和氧化铝为添加剂液相烧结获得超塑性陶瓷块体材料,在成形速率为0.2mm/min,温度为1550℃的条件下,实现氮化硅陶瓷的超塑性成形.对室温和高温断口形貌分析表明:氮化硅陶瓷的室温和高温断裂方式均为沿晶断裂,在室温断口上存在大量的细小白色氮化硅颗粒,而高温断口上却几乎不存在这样的颗粒.成形前,烧结体仅有少量的微小缺陷,成形后则以这些烧结缺陷为"核心"形成了大量的"空洞集团".