水平HVPE反应器中气流动力学模拟与GaN生长

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liupingxiu

【摘要】

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建立了GaN HVPE系统的流体动力学模型,研究了反应气体在反应室内的浓度场,讨论了反应室内GaCl和NH3管道空间配置对气体在衬底表面浓度分布的影响,并对HVPE系统反应室的设计进

【作者】

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孟兆祥于广辉叶好华雷本亮李存才齐鸣李爱珍

【机构】

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

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HVPE 流体动力学氮化镓反应室晶体生长模拟 GaN HVPE fluid dynamic

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建立了GaN HVPE系统的流体动力学模型,研究了反应气体在反应室内的浓度场,讨论了反应室内GaCl和NH3管道空间配置对气体在衬底表面浓度分布的影响,并对HVPE系统反应室的设计进行了优化.材料生长结果表明,厚度均匀性良好,直接在蓝宝石衬底上生长的GaN外延层摇摆曲线半宽为660 arcsec.

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