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硅衬底微波集成电路具有诱人的发展前景。本文阐述了硅材料用作微波集成电路衬底的优点 ,分析了硅衬底微波传输线、无源元件以及锗硅异质结双极晶体管 (Si Ge HBT)的电性能 ,介绍了目前国内外硅衬底微波集成电路研究的进展 ,并对数字电路与 RF及微波电路在硅衬底上混合集成的特点与应用作了讨论
硅衬底微波集成电路
【摘 要】
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硅衬底微波集成电路具有诱人的发展前景。本文阐述了硅材料用作微波集成电路衬底的优点 ,分析了硅衬底微波传输线、无源元件以及锗硅异质结双极晶体管 (Si Ge HBT)的电性能 ,
【机 构】
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上海交通大学电子信息学院
【出 处】
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微波学报
【发表日期】
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2001年01期
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