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采用脉冲式静电辅助的气溶胶化学气相沉积方法成功的在Si（100）衬底上制备了Y2O3薄膜，研究了退火对Y2O3沉积薄膜的形貌、结构和光学性质的影响。X射线衍射分析结果表明沉积得到的Y2O3薄膜在退火前为非晶态结构，退火之后薄膜具有立方结构，并且具有（111）择优取向。SEM分析显示薄膜在退火后更加平滑、致密。椭偏仪的测试结果表明薄膜退火后的折射系数提高，消光系数减少。