Love波传感器及其质量灵敏度测试

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【摘要】

：

为实现流体领域的液相传感，设计并制作了基于36°-YX LiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器；通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2．28

【作者】

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胡友旺史建亮贾宏光吴一辉

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

Love波传感器 LiTaO3 PMMA 灵敏度

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为实现流体领域的液相传感，设计并制作了基于36°-YX LiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器；通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2．281g^-1cm^2．分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响，为进一步提高灵敏度提供了参考．

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