【摘 要】
：
采用热丝化学气相沉积法在n型直拉单晶硅圆片表面双面沉积厚度为10 nm的本征非晶硅（α-Si∶H）薄膜。利用光谱型椭偏测试仪和准稳态光电导法研究热丝电流、H2体积流量和热丝与衬
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(61306084,61464007,51561022);江苏省能量转换材料与技术重点实验室开放课题基金资助项目(NJ20160032);江西省重点研发计划-技术引进与合作研究-重点项目(2016BBH80043)
论文部分内容阅读
采用热丝化学气相沉积法在n型直拉单晶硅圆片表面双面沉积厚度为10 nm的本征非晶硅（α-Si∶H）薄膜。利用光谱型椭偏测试仪和准稳态光电导法研究热丝电流、H2体积流量和热丝与衬底之间的距离对α-Si∶H薄膜结构和钝化效果的影响。结果表明,热丝电流为21.523.5 A时,钝化后硅片的少子寿命随着热丝电流的增加呈现先增加后降低的趋势,热丝电流为23.0 A时,钝化效果最好;H2体积流量为520 cm3/min时,少子寿命随着H2体积流量的增加呈现先增加后降低的规律,体积流量为15 cm3/min时,钝化效果最好;热丝与衬底间距为45 cm时,随着间距的增加,薄膜的结构由晶化向非晶化转变,在间距为4.5 cm时硅片的钝化效果达到最优。
其他文献
日本侵华战争期间,华北沦陷区日伪政权为了实现完全统治中国的目标,利用报刊杂志实行思想殖民,塑造了新的民族观。日本殖民者对华北沦陷区进行了详尽的历史考察,获取了有助于
A股公司“雷声”隆隆，如何才能不掉进大坑？对于风控健全的机构投资者来说，回答这个问题不是太难，但对于单枪匹马、总是“ALL IN”的中小投资者，注意某些指标、现象还是能够少遇黑
7月20日，一场世界级的舞蹈艺术盛会在天山脚下拉开帷幕。在此后半个月的时间里，来自12个国家和地区、4个国内、5个新疆本土的艺术团体，将在乌鲁木齐市、库尔勒市和石河子市奉献6
预防行为是一种较为特殊的人类行为,经济学已经研究了如预防性储蓄等多种预防行为。法经济学对于预防行为的研究主要集中于侵权、犯罪和传染病的预防等领域。本文对此进行了
医疗费用的持续快速增长使人们对医疗保险的需求不断加大,由此建立的医疗保险基金能否确保支付能力并实现可持续发展,已成为目前亟待解决的问题。由于基金来源不稳定,所以医
建康在六朝时发生灾害381次,占同期各地区灾害记录总和的三分之二以上。建康及周边地区的建设与开发,一方面可以集聚大量的资源、建立相对完备的防灾减灾体系,有助于增强城市
患者，女，84岁，65kg，既往无药品不良反应史。因冠心病、肺部感染于2006年7月24日入院，经抗感染、扩血管治疗后症状缓解。8月25日因感冒口服复方氨酚烷胺片（感康）（吉林省吴太感康药业有
目的通过观察麝香保心丸对糖尿病患者新发心肌梗死的临床效果,探讨麝香保心丸在新发心肌梗死的糖尿病患者中的应用价值。方法选择2016年1月-2017年11月期间在该院心内科住院
<正>新课程要求思想品德教学要"以学生为本",建构"以学生为中心、以情景为中心、以活动为中心"的课堂。但农村中学思想政治教学由于受到主客观条件的制约,新课程理念在课堂教
介绍了用超声波鉴定粗晶螺栓的原理。用A型脉冲反射式超声波探伤方法对材质为20Cr1Mo1V(Nb)TiB的粗晶螺栓(晶粒级别为1~2级)和细晶螺栓(晶粒级别为5~7级)进行了3种不同频率的