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为全面研究钼酸盐金属氧化物薄膜的性质,在室温碱性Ca^2＋、Sr^2＋溶液中通过电化学阳极氧化制备了Sr1-xCaxMoO4多晶薄膜.采用XRD、SEM、XPS、荧光分析等测试手段,分析了薄膜的晶相结构、表面形貌、组成比及室温光致发光特性.结果表明,制备的Sr1-xCaxMoO4薄膜是四方晶相的多晶固溶体薄膜;可以通过调节溶液中Ca^2＋、Sr^2＋的组分比来控制薄膜的组分比;薄膜组分比的变化将对晶粒生长、晶格参数、薄膜表面形貌、光致发光特性等产生重要的影响.