薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sosmax68
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响进行了详细分析.结果表明,薄膜体声波谐振器谐振频率主要由压电材料和厚度决定但电极的影响也是很大的.在制作高频FBAR器件(5GHz以上)时,采用氮化铝作压电材料比用氧化锌作压电材料更合适.
其他文献
沙盘游戏治疗,是运用荣格分析心理学的相关理论发展起来的心理治疗技术,是让来访者在咨询师营造的自由受保护的空间下进行自我创作的过程,让被试在沙盘中发展自己的潜在能量,
报告了大型H型钢场平岩土工程治理现状,对深厚填土的地基土和大量建筑物的地基处理问题进行了研究,经过几个处理方案的比较,采取完善深厚回填土分层强夯填土法及碾压法等一系列
文化产业作为一个国家、一个地区综合实力的组成要素和国民经济的重要组成部分,正日益受到世界各国的广泛关注和重视.我省省委及时提出加快建设边疆文化大省的发展目标,而建
期刊
简述了大采长、双尾巷K8202综放面概况,对其一般风量进行了考察及优化,使工作面风量同时满足瓦斯治理,防灭火技术要求,确保大采长高瓦斯易燃煤层综放面高效安全生产。
作为高附加值型产业的金融业,具有资本密集和高科技密集的行业特点,因而其价值的增值主要依赖于人力资源.随着我国加入世贸组织后外资银行大举抢滩,在这场决胜未来的关键之役
期刊
加强股票投资策略的研究具有重要现实意义,有利于倡导正确的价值观和投资理念,为建立理性投资氛围打下良好市场基础.我们就两种鲜明的投资策略--动量交易策略和反向交易策略
期刊
目的:通过检索分析中医临床文献,找出干燥综合征的中医证型及证素分布规律,为干燥综合征的诊治提供依据。方法:检索中国知网1979-2017年公开发表的中医治疗干燥综合征的临床研
近年来,我国银行业金融创新层出不穷,有力地推动了银行业的发展.但我们也看到,与西方发达国家相比,我国金融创新产品和技术还存在一定的差距,金融市场的宽度和深度在很多方面
期刊
预测是指推断和计量事物未来的发展变化.经济预测就是依据调查统计资料的经济信息,依照客观经济规律、运用科学的方法对客观经济过程及其变化趋势做出推断.……
目前关于农村金融组织多倾向于以对农村正式金融组织的研究代替所有农村金融组织的研究,存在一定的片面性.事实上,非正式金融组织和准正式金融组织也是农村金融非常活跃的一