Fabrication of THz Dipole Antenna Using Lift-off Method

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xuehaoyou123

【摘要】

：

The microfabrication technique for THz dipole antenna,'lift-off' was studied in this paper.Its procedure has been examined in detail,and discreetly twea

【作者】

：

SHOU Xiang BAI Lu-gang SU Hong

【机构】

：

UniversityofUtah1.DepartmentofElectricalEngineering,DepartmentofChemicalEngineering,HuaianCollegeofI

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

偶极子天线剥离法太赫兹制作微细加工技术 terahertz dipole antenna lift-off microfabrication

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The microfabrication technique for THz dipole antenna,'lift-off' was studied in this paper.Its procedure has been examined in detail,and discreetly tweaked.Particularly,Chlorobenzene is suggested to assist the formation of undercut indispensible f

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