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日本阿尔卑斯电气株式会社开发出了SFPAR系列小型压力检测传感器。该系列压力检测传感器是一种力量型传感器，采用基于MEMS技术制造的压电元件，将压力变化转换为电流变化输出后用于检测；其分为表面封装型和配合使用柔性电路板的耐冲击组件型（4mm×2．7mm×2．06mm）等2种，在力量传感器中属于行业最小级别，可嵌入机器人及工业设备等各种设备中使用。