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利用SEM、FESEM、AFM和XRD对Nd：YAG脉冲激光氧化Cr膜的微观结构进行了分析。在较小的激光能量作用下，所得到的氧化物薄膜均匀生长；当激光能量较高时，氧化物薄膜呈小丘状生长模式。薄膜表面形成的纳米尺寸的楔型晶界将对下一步的刻蚀产生不良影响，这是由于较低温度下进行的激光氧化会引起较低的扩散速率和初始应力释放。小丘状氧化物生长是在较高激光能量下较高温度使Cr离子向外扩散的结果。