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采用安时质量法、目测法、白光干涉轮廓仪和x射线衍射仪,考察了工艺条件对环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺中电流效率、镀铜层外观形貌及晶体结构的影响。结果表明:镀液温度和搅拌方式对电流效率有比较明显的影响,而电流密度对电流效率影响不大。在镀液温度45℃、电流密度3A/dm2、超声波搅拌的条件下,电流效率达到80.20%,可以得到表面比较平整、呈半光亮的镀铜层。镀铜层的XRD图谱中出现五个衍射峰——(111)、(200)、(220)、(311)、(222)。只改变搅拌方式对镀铜层的晶体结构影响不大。