【摘 要】
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提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件.利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮
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提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件.利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温.薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系统误差.实验中对0.5μm到2μm的一系列氮化硅薄膜进行了测量,得到了薄膜热导率的尺寸效应.
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