【摘 要】
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介绍了一种结构紧凑的三维扫描系统，由计算机输入控制参数使步进电机带动三维样品台工作。各纸最大扫描行程25mm，最小扫描步距2μm，全程累计误差小于1μm，该系统已成功地应用于光
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,310027,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,310027
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介绍了一种结构紧凑的三维扫描系统，由计算机输入控制参数使步进电机带动三维样品台工作。各纸最大扫描行程25mm，最小扫描步距2μm，全程累计误差小于1μm，该系统已成功地应用于光热偏转无损检测。
A compact three-dimensional scanning system is introduced. The control parameters are input by the computer to make the stepping motor drive the three-dimensional sample stage. The maximum scanning stroke of each paper 25mm, the minimum scanning step 2μm, the cumulative total error of less than 1μm, the system has been successfully applied to non-destructive photothermal deflection detection.
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