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随着磁控溅射技术应用日益广泛,难熔金属靶材需求不断增大。就难熔金属靶材应用、制备及发展进行总结和探讨,分析了制作过程中致密度、纯度、晶粒尺寸及结晶取向对靶材性能的影响,并对难熔金属靶材的发展趋势进行展望。
磁控溅射用难熔金属靶材制作、应用与发展
【摘 要】
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随着磁控溅射技术应用日益广泛,难熔金属靶材需求不断增大。就难熔金属靶材应用、制备及发展进行总结和探讨,分析了制作过程中致密度、纯度、晶粒尺寸及结晶取向对靶材性能的
【机 构】
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北京有色金属研究总院,邢台轧辊机电工程有限公司,
【出 处】
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金属功能材料
【发表日期】
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2016年06期
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