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微流控分析芯片制作方法的研究是微流控分析的基础.制作性能良好的微流控分析芯片时,基片与盖片的键合技术十分重要.本文针对近年来发展迅速的低温键合技术,对各种方法进行了评价,并对其发展前景进行了展望.
微流控分析芯片制作中的低温键合技术
【摘 要】
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微流控分析芯片制作方法的研究是微流控分析的基础.制作性能良好的微流控分析芯片时,基片与盖片的键合技术十分重要.本文针对近年来发展迅速的低温键合技术,对各种方法进行了
【机 构】
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重庆大学化学化工学院,重庆大学化学化工学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年11期
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