【摘 要】
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采用Sol—Gel法在普通载玻片上制备出c轴择优取向性、可导电的Al^3＋离子掺杂的ZnO透明导电薄膜．利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征．研究结果表明：所制备的薄膜为六方纤锌矿
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采用Sol—Gel法在普通载玻片上制备出c轴择优取向性、可导电的Al^3＋离子掺杂的ZnO透明导电薄膜．利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征．研究结果表明：所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构表面平整、致密．通过标准四探针法测定了Al^3＋离子掺杂的ZnO电阻率，证实了薄膜的导电性．实验发现，当离子掺杂浓度为1．5％，前处理温度为300℃，退火温度为600℃，薄膜的质量最好．
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