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采用测量开路电位-时间曲线和阴极极化曲线的方法，研究了铜电极上HEDP镀铜的电化学行为。结果表明，HEDP体系的溶液组成与温度都会影响铜电极的稳定开路电位、电镀铜过程的阴极极化（镀层结晶质量）与极化度（镀液分散能力）。溶液中HEDP浓度升高，则稳定开路电位变负，阴极极化和极化度增大，有利于电沉积铜的电极过程。溶液pH升高时，稳定开路电位变负，电沉积铜的阴极极化增大。溶液温度降低时，电沉积铜的阴极极化增大。阴极极化较小时的极化度较大，且随pH的升高或温度的降低而明显增大。