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用于X射线闪烁屏的硅微通道阵列整形技术

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yxzapricot

【作 者】

：

余金豪  杨炳辰  杨超  陈奇  凌海容  王蓟  王国政 

【出 处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2018年08期

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